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Nouveaux produits

King Polytechnic Engineering adopte les revêtements VICOTE® de Victrex sur ses lignes de fabrication de semi-conducteurs.

Publication: Mai 2008

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Le revêtement VICOTE possède une très bonne résistance aux agents chimiques, une tenue à hautes températures ainsi qu’une excellente résistance à l’abrasion, ce qui non seulement augmente la longévité des équipements et donc réduit les opérations de maintenance, mais aussi améliore le rendement et la fiabilité de la production des dalles LCD et des wafers.
 

Victrex plc, fournisseur leader en matériaux à hautes performances, comprenant le polymère VICTREX® PEEK™, les revêtements VICOTE® et les films APTIV™, annonce que son revêtement VICOTE® basé sur le polymère VICTREX PEEK a été adopté par le fabricant Taïwanais d’équipements optoélectroniques et de semi-conducteur, King Polytechnic Engineering Co. Ltd. (KPEC), pour ses équipements SPIN/DIP de moyennes et grandes dimensions 2", 8" et 12", et pour ses plus grandes tranches de Silicium (wafers) et dalles LCD.

Le VICOTE 804 BLK a remplacé avec succès le revêtement PTFE actuel grâce à son excellente tenue chimique et thermique, et son adhérence sur les pièces revêtues sans utilisation de primaire d’accroche. Ce revêtement permet de limiter la génération de particules d’usure et la contamination dans le processus de fabrication, ce qui signifie moins de rebuts et une amélioration notable de la capacité de production des wafers et des dalles LCD tout en augmentant la longévité de l’équipement et réduisant la maintenance.

La photolithographie est l’étape la plus cruciale et difficile dans un processus de fabrication de semi-conducteurs ou de LCD. C’est lors de la seule phase de SPIN/DIP que l’on vient graver et développer des solutions sur un wafer ou un substrat de verre. Cette opération s’effectue dans un environnement des plus rudes avec des agents chimiques fortement acides/basiques et à des températures élevées où la stabilité et l’uniformité d’un équipement peuvent directement affecter la qualité des composants fabriqués.

“Dans notre application, le revêtement VICOTE permet de réduire la maintenance et les arrêts de production. Ainsi il contribue à améliorer le rendement de fabrication des wafers et des dalles LCD. Quand nous utilisions un revêtement PTFE dans un environnement avec des agents chimiques hautement acides ou basiques à une température élevée, nous devions nettoyer systématiquement les particules d’usure et régulièrement retraiter nos équipements, d’où une maintenance fréquente lors de l’enduction centrifuge,” déclare Frank Huang, directeur de la division salle blanche chez KPEC. “Mais depuis que nous sommes passés au revêtement VICOTE, nous n’avons jamais reçu aucune demande de maintenance. Nous utilisons couramment le VICOTE 804 BLK sur nos équipements SPIN/DIP de moyenne et grande dimension pour les wafers et dalles LCD de 8” et plus.”

“Etant donnée que l’industrie des semi-conducteurs s’oriente vers des wafers plus grands et demande plus de précision, le tout dans un environnement plus agressif en terme d’agents chimiques et de températures, l’arrivée de matériaux et de techniques avancés devient vitale pour le développement de cette industrie” explique Gary Li, Responsable du marché Taïwanais à Victrex.

“Notre gamme de revêtements VICOTE possède une résistance à l’abrasion et une adhérence intrinsèque sur les substrats exceptionnelles, de même pour sa résistance aux agents chimiques, ce qui réduit radicalement la génération de particules et permet de tolérer plus de substances chimiques.

Son application sur des composants clés d’équipements de traitement permet d’étendre la durée de vie de ces derniers et de réduire leurs maintenances. Disponibles sous forme de poudres ou dispersion liquides, les revêtements VICOTE permettent de fournir à l’utilisateur final des solutions d’applications adaptées et économiques. Notre coopération avec KPEC prouve une fois de plus que le polymère VICTREX PEEK est un choix idéal de matériaux pour l’industrie semi-conducteur.”

La gamme VICOTE de poudres et dispersions liquides à base du polymère VICTREX PEEK présente une excellente résistance aux rayures et à l’usure, des performances mécaniques à hautes températures, ainsi que robustesse et longévité. Les revêtements VICOTE ont été développés pour palier aux écarts de performance constatés entre les divers revêtements actuels existants. Que cela concerne l’industrie, l’automobile, l’agro-alimentaire, les semi-conducteurs, l’électronique ou le secteur pharmaceutique, les produits VICOTE sont un très bon choix pour les ingénieurs cherchant à améliorer la performance à l’usure, et la durée de vie des revêtements dans leurs applications. Les différents grades VICOTE peuvent être appliqués par les techniques habituelles de projections électrostatiques ou en dispersion.

http://www.victrex.com

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