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Le nouvel appareil de mesure optique de surface de la société Fries Research & Technology (FRT) s’appelle « MicroScope WLI ». Basé sur un microscope optique, c’est un interféromètre en lumière blanche à part entière assurant une mesure sans destruction. Il permet d’effectuer rapidement et aisément des mesures tridimensionnelles sur des surfaces avec une résolution verticale extrême. Il a été conçu en particulier pour les services de recherche et de développement ainsi que pour les universités.

Un matériel et un logiciel puissants

Un maniement aisé, une utilisation polyvalente et une fiabilité extrême - ce sont les propriétés remarquables du nouveau MicroScope WLI de FRT. C’est un microscope optique avec une tourelle d’objectifs à grossissement de 4x et un interféromètre en lumière blanche. L’instrument de mesure est petit, compact et peut être utilisé de manière flexible. Il convient particulièrement parfaitement aux services de recherche et de développement et aux universités car il ne nécessite que des investissements limités et il fournit des données fiables sur la rugosité, la hauteur des marches, les profils et les structures tridimensionnelles. Les mesures interférométriques sont effectuées avec une résolution verticale extrême et, en fonction de l’objectif, avec, en conséquence, une bonne résolution latérale.

Le MicroScope WLI est composé d’une table motorisée pouvant se déplacer sur 100 x 100 millimètres. La plage de mesure axiale est de 400 µm. La tourelle d’objectifs à grossissement de 4x est équipée d’un élément de réglage piézoélectrique des objectifs garantissant une précision exceptionnelle. Le choix existant au niveau des objectifs permet de mesurer différentes tailles de champs de mesure à différentes résolutions. Un ordinateur équipé du logiciel Mark III pour les analyses topographiques et de profils, les analyses de la rugosité, les hauteurs de marche ainsi que les routines d’analyse et de filtrage bidimensionnelles et tridimensionnelles est fourni avec l’appareil. Une mesure ne dure en moyenne que quelques secondes.

En plus des objectifs d’interféromètres disponibles, il est également possible de monter trois objectifs de microscope courants. Cela est idéal pour les utilisateurs qui travaillent d’habitude avec des microscopes optiques comme c’est le cas, par ex., dans les universités, les laboratoires de biologie, les laboratoires médico-techniques ou dans des environnements similaires.

Principe de l’interférométrie en lumière blanche

Dans l’interférométrie en lumière blanche, une caméra CCD prend des photos par interférence qui résultent de la superposition de la lumière de l’objet à mesurer et de la lumière réfléchie vers un miroir de référence. Quant à la mesure topographique, la position z de l’objectif est déplacée par petits pas et une photo par interférence est prise à chaque position. On obtient ainsi une pile de photos permettant de calculer les données de hauteur. En utilisant la source de lumière blanche, il est possible de saisir des surfaces avec une résolution verticale très élevée, typique pour cette méthode. Cette méthode est, en outre, idéale pour la saisie de surfaces lisses ou rugueuses ainsi que pour la saisie des différences de marche.